解决方案

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SM-800 FOUP清洗机

解决什么问题:晶圆在生产制造时需要经过不同工艺,由FOUP盒进行周转连接,FOUP盒的洁净程度直接关系于产品的良率,所以需要进行清洗
什么行业:晶圆制造业
什么对象:FOUP盒