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SM-800 半自动料盒清洗机
产品型号:
SM-800
产品描述
SM-800 半自动料盒清洗机设备,一次可装载8套12inch FOUP盒及盖子。满足安全及对环境、对人员的安全性,危险性警告标志、安全连锁装置、紧急停机、电气安全、消防安全、人体工学、危险能量隔离、机械设计安全、地震保护、自动机械设备、环境因素、排气、化学品安全、游离辐射安全、非游离辐射安全、激光安全、噪音等方面已做安全测试。
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产品详情
机器特点:
1、SM-800 半自动料盒清洗机通过喷淋&离心甩干&烘干的工艺实现清洗产品的功能。
2、一次可装载8套12inch FOUP盒及盖子。
3、只需使用DI水,不需清洁剂或其他化学液体。
4、可自定义清洗流程,以实现最佳清洗效果。
5、设备紧凑,占地空间小。
6、设备正面/反面均有推拉门,可在不同级别无尘车间完成上料及下料的动作。
7、DI水有加热功能,以提升清洗能力。
8、氮气及鼓风有加热功能,可缩短烘干时间。
9、DI水不循环使用,喷淋后,直接排出,以确保水质。
机器参数:
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清洗规格 |
4”-12” |
CDA压力 |
0.6Mpa |
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清洗数量 |
8-72pcs(依据产品) |
CDA+N₂接口 |
1/2 inch |
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清洗类型 |
FOUP、FOSB、各式Cassette类型 |
纯水接口 |
1 inch |
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控制方式 |
PLC+触摸屏 |
排水接口 |
1-1/4inch 2个 |
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操作界面 |
中文/英文 |
排气接口 |
PP DE200 |
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干燥方式 |
CDA/N₂吹扫+热风烘干 |
总功率 |
50KW |
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喷嘴规格 |
依据不同产品结构针对性配置 |
电源 |
AC380V 三相五线125A 50Hz |
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设备尺寸 |
2280*1740*2650(L*W*H)mm |
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深圳市山木电子设备有限公司
地址:
深圳市宝安区石岩街道石新社区
宏发工业园13栋一楼