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SM-800 半自动料盒清洗机
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SM-800 半自动料盒清洗机

产品型号:

SM-800


产品描述

SM-800 半自动料盒清洗机设备,一次可装载8套12inch FOUP盒及盖子。满足安全及对环境、对人员的安全性,危险性警告标志、安全连锁装置、紧急停机、电气安全、消防安全、人体工学、危险能量隔离、机械设计安全、地震保护、自动机械设备、环境因素、排气、化学品安全、游离辐射安全、非游离辐射安全、激光安全、噪音等方面已做安全测试。
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产品详情


机器特点:

1、SM-800 半自动料盒清洗机通过喷淋&离心甩干&烘干的工艺实现清洗产品的功能。

2、一次可装载8套12inch FOUP盒及盖子。

3、只需使用DI水,不需清洁剂或其他化学液体。

4、可自定义清洗流程,以实现最佳清洗效果。

5、设备紧凑,占地空间小。

6、设备正面/反面均有推拉门,可在不同级别无尘车间完成上料及下料的动作。

7、DI水有加热功能,以提升清洗能力。

8、氮气及鼓风有加热功能,可缩短烘干时间。

9、DI水不循环使用,喷淋后,直接排出,以确保水质。

 

机器参数:

清洗规格

4”-12”

CDA压力

0.6Mpa

清洗数量

8-72pcs(依据产品)

CDA+N₂接口

1/2 inch

清洗类型

FOUP、FOSB、各式Cassette类型

纯水接口

1 inch

控制方式

PLC+触摸屏

排水接口

1-1/4inch 2个

操作界面

中文/英文

排气接口

PP DE200

干燥方式

CDA/N₂吹扫+热风烘干

总功率

50KW

喷嘴规格

依据不同产品结构针对性配置

电源

AC380V 三相五线125A 50Hz

设备尺寸

2280*1740*2650(L*W*H)mm