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产品中心
SM-TUR-100 炉管清洗机
产品型号：
SM-TUR-100
产品描述
立式/卧式管舟清洗机广泛应用于集成电路、封装、光伏等领域。采用浸泡式处理工艺，主要用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。
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产品详情
设备特点：
1、全自动清洗，浸泡式清洗和喷淋式清洗方式可选
2、一机多用，兼容石英管/舟清洗
3、自动配液系统，换酸快捷
4、分级安全联锁设置
设备参数
| 机台尺寸 | 有机清洗台/无机清洗台 |
| 工艺槽 | 数量3，容积16L，石英材质 |
| 药液名称 | 有机液 |
| 制程温度 | RT～80℃±3℃ |
| 加热方式 | 水浴式加热 |
| 温度侦测 | PT100*2 |
| 液位监测 | 多段式N₂液位Sensor |
| 槽盖 | 手动式PVDF槽盖 |
| 阀门管路材质 | PFA |
| 超声波 | 40KHz，600W(功率可调） |
| 供酸模式 | 手动供酸 |
| 排放 | 重力排放厂务，废液废水不同管道 |
深圳市山木电子设备有限公司
地址:
深圳市宝安区石岩街道石新社区
宏发工业园13栋一楼