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产品中心
SM-1441 晶圆清洗机
产品型号：
SM-1441
产品描述
产品详情
机器特点：
1、可调节式产品放置治具，清洗5寸8寸12寸（根据客户产品治具大小定制）
2、操作程序可按实际作业需求编写调整，方便快捷，更人性化
3、旋转式喷杆设计，清洗和甩干时旋转喷杆位置，避免甩干后再次污染产品
4、高速离心设计，逆时针转速调节范围 10-2000（r/Min）
5、可手动切换上下喷杆单独开启或同时开启（气体和纯水）
6、设备自带2级气源过滤系统，使接入设备后的空气更加洁净，过滤等级0.01μm
7、设备自带纯水水源过滤系统，使接入设备后的DI水更加洁净，过滤等级1μm
8、机台内部环境可达静态10级，更有效减少产品清洗后的二次污染
9、水路气路关键部位采用SUS316材质，更好的保证水源气源的洁净
10、整机采用SUS304镜面不锈钢机身，耐酸碱腐蚀，对工作环境无污染，外观更易清洁
11、专利化清洗腔体设计，二级不锈钢FFU空气过滤，确保DI水和空气开环排放，不造成二次污染。
12、4--12”晶圆治具托盘采用精密磨床加工，确保高速转动时振幅最小，运行稳定
13、专利喷杆喷嘴设计，喷嘴雾化效果均匀，喷射压力一致。
机器参数：
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设备尺寸(mm) |
550(L）×750(W）×1650(H） |
纯水入口径 |
Φ12mm软管 |
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治具规格 |
按照客户产品定制 |
排水出口径 |
外径30mm 内径25mm 风暴管 |
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排风口口径 |
4″（110mm) × 2 个（需加强抽风,风速大于3m/s） |
气源入口径 |
Φ12mm PU气管 |
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电源供应 |
三相五线制电源 |
耗电量 |
清洗时: 约1.5kw/h（机台正常生产） |
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总功率 |
2KW |
气源供应 |
0.40-0.7Mpa |
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离心转速 |
10-2000 r/Min |
DI水供应需求 |
压力＞0.25Mpa；流量＞10L/Min |
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电机功率 |
1500W |
驱动模式 |
伺服电机（三菱/松下/台达） |
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纯水消耗量 |
0-4 L/Min |
环境过滤方式 |
0.3μm 过滤效率99.9995% |
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气体消耗量 |
50-100L/Min |
机器净重 |
约220 KG |
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空气过滤方式 |
5μm×1（初级过滤）；0.01μm×1（精密过滤）；0.01μm×1（精密过滤） |
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深圳市山木电子设备有限公司
地址:
深圳市宝安区石岩街道石新社区
宏发工业园13栋一楼