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SM-MCP-200 手动清洗台
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SM-MCP-200 手动清洗台

产品型号：

SM-MCP-200

产品描述

手动进行晶圆湿法清洗和处理的专用设备。 其核心功能是让操作员能够使用有机溶剂（如丙酮、乙醇、NMP等）或无机溶剂（SPM、SC₁、SC₂），通过特定的手动流程（如浸泡、冲洗、擦拭）来清除晶圆表面的污染物，如光刻胶、颗粒、金属杂质、有机物残留等。
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产品详情

设备特点：
1、配备石英槽*3和PVDF QDR槽*2

2、可清洗标准3寸/6吋/8寸专用晶圆卡塞*1

3、可选配消防单元：IR(闪点)/TH(温感)侦测、3C认证

4、设备前部作业门是整体上下推拉式设计（设防爆透明玻璃视窗）

5、强力排风系统*2，手动调节阀门，低风压报警，配压差表

6、加热安全连锁，漏液保护

 

设备参数

规格类型 有机清洗台/无机清洗台 QDR槽 数量2，容积实际设计为准，PVDF材质
机台尺寸 1800mm*1200mm*1950mm 药液名称 DIW
工艺槽 数量3，容积16L，石英材质 制程温度 RT
药液名称 有机液 液位监测 多段式N₂液位Sensor 
制程温度 RT～80℃±3℃ 水阻值 外挂式水阻值计 
加热方式 水浴式加热 上喷淋 左右式喷淋
温度侦测 PT100*2 N₂鼓泡 槽体底部均匀分布，可通过手动调压阀调节鼓泡大小 
液位监测 多段式N₂液位Sensor  槽体结构 Over Flow＋Quick Down 
槽盖 手动式PVDF槽盖 快排时间 5S内可完成整槽水排放 
阀门管路材质 PFA 供水 厂务供水完成上下补给 
超声波 40KHz，600W(功率可调） 排放 重力排放厂务，含液废水和回收水不同管路
供酸模式 手动供酸 /
排放 重力排放厂务，废液废水不同管道 /

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