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SM-COII-900LH CO₂发泡机
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SM-COII-900LH CO₂发泡机

产品型号：

SM-COII-900LH CO₂

产品描述

本设备将CO₂气体溶入到DIW里面，溶解后的二氧化碳在DIW中转化成离子，能够去除半导体清洗工艺中的带电现象，防止静电破坏和吸附灰尘。应用于划片清洗、掩膜板清洗、scrubber清洗、高压清洗、foup盒清洗等需要达到高洁净或无静电清洗效果的工艺设备中。
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产品详情

设备特点：

1、构造简单，操作便利，故障率低

2、管路和阀件采用PFA材质，保证超纯水洁净

3、二氧化碳过滤膜采用PTFE材质，洁净且寿命长

4、电阻率稳定在±15%

5、极低流量下，保持电阻率稳定

6、具有漏水报警功能

7、支持数据记录和历史查询

 

设备参数：

设备名称 CO₂发泡机 混合器进气压力 0.05-0.1 MPa
设备型号 SM-COII-9OOLH 进水压力 0.35-0.45 MPa
处理能力 50-14000mL/min 设备电源 单项 220 AV
电阻值控制范围 0.1-2.0 MQ*cm 设备功率 0.2 KW
使用气体 CO₂，纯度99.99%以上(无油，无微粒) 设备尺寸 240W*504D*440H
使用水源 >15M超纯水 设备重量 28 Kg
设备进气压力 0.2-0.4 MPa / /

 

 

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